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TSMC 3DFabric 是什麼?整合 CoWoS、InFO 與晶背供電的晶片堆疊革命

  • 作家相片: Amiee
    Amiee
  • 4月23日
  • 讀畢需時 9 分鐘
什麼是 TSMC 3DFabric?從 CoWoS、InFO 到晶背供電,這篇文章帶你秒懂晶片「往上疊」的未來趨勢!為什麼 AI 晶片愈來愈強、體積愈來愈小?原來秘密藏在封裝裡!


晶片不是豆腐,但現在真的可以「疊起來」了


還記得我們曾經拿積木堆房子嗎?現在 TSMC(台積電)也開始把晶片像積木一樣疊起來,只不過這不是小朋友的遊戲,而是一場高達數十億美元的高效能運算革命。別以為這只是換個包裝的老招式,TSMC 推出的 3DFabric 技術,已經悄悄改寫了 AI 晶片與 HPC(High Performance Computing,高效能運算)的未來藍圖。


在這個「摩爾定律快撐不住」的年代,所有晶片設計師都在尋找突破瓶頸的新解法。TSMC 3DFabric 的出現,讓原本只能橫向擴展的半導體設計,得以改為垂直堆疊,形成一種如高樓大廈般的矽世界,將演算效能再一次推向巔峰。


那麼,什麼是 TSMC 3DFabric?為什麼從 NVIDIA 到 Apple 都搶著用?背後的技術到底是多厲害?別急,這篇文章就要幫你一層一層解開這個高階封裝的「洋蔥」構造,保證讓你看完忍不住說:哇~這真的不是普通厲害。


什麼是 TSMC 3DFabric?三大核心技術一次包辦


TSMC 3DFabric 是一個整合性的先進封裝平台,將多種不同晶片功能模組(如 CPU、GPU、記憶體)進行高密度整合,主要由以下三大技術組成:


  • CoWoS(Chip-on-Wafer-on-Substrate) 將多個裸晶片(Die)同時封裝在一個晶圓片(Wafer)上,並搭配中介層(Interposer)作為高速互聯的媒介,可支援高頻寬記憶體(如 HBM)與多核心協同運算,特別適用於大型 AI 模型與雲端伺服器。


CoWoS 封裝製程示意圖:從上方的晶片鍵合(Chip Bonding)開始,將多顆晶粒黏著於矽中介層(Silicon Interposer)上;接著於中介層上建構再分佈層(RDL)並連接至有機基板(Organic Substrate);然後透過錫球與基板連接(Substrate Attachment);最後完成封裝並裝上散熱器(Heat Spreader)。來源:TSMC
CoWoS 封裝製程示意圖:從上方的晶片鍵合(Chip Bonding)開始,將多顆晶粒黏著於矽中介層(Silicon Interposer)上;接著於中介層上建構再分佈層(RDL)並連接至有機基板(Organic Substrate);然後透過錫球與基板連接(Substrate Attachment);最後完成封裝並裝上散熱器(Heat Spreader)。來源:TSMC


  • InFO(Integrated Fan-Out) 是一種去基板化(substrate-less)封裝形式,晶片周圍可延伸出更多 I/O 接腳,實現高密度佈線與輕薄化封裝,特別適用於智慧型手機與可攜式裝置,像是蘋果的 A 系列處理器就使用 InFO。


TSMC InFO-L 封裝架構示意圖:邏輯晶片位於上層,透過 LSI + RDL 與下方基板連接,實現高密度佈線與優異的機械穩定性。InFO-L 將 Fan-Out 的 I/O 擴展能力與基板支撐整合,有效支援大型 SoC 與高頻應用。來源:TSMC 官方技術簡報。
TSMC InFO-L 封裝架構示意圖:邏輯晶片位於上層,透過 LSI + RDL 與下方基板連接,實現高密度佈線與優異的機械穩定性。InFO-L 將 Fan-Out 的 I/O 擴展能力與基板支撐整合,有效支援大型 SoC 與高頻應用。來源:TSMC 官方技術簡報。

  • BSP(Backside Power Delivery,晶背供電) 將電源線路由晶片背面輸入,避免與訊號線爭奪通道空間,能降低電壓壓降(IR Drop)與功耗,有助於提升速度與散熱效率,是未來 2 奈米與以下製程的關鍵創新之一。


圖顯示了採用背面供電技術的先進邏輯晶片橫截面。圖中可見:


  • Front Side(前端) 主要負責訊號與時脈分佈(Signals & Clock Distribution),位於晶片頂部的多層金屬層中。

  • Back Side(背面) 電源與全域時脈(Power and Global Clock)由晶片底部導入,形成獨立的供電層,有助於降低 IR Drop 與提升 Power Integrity。 此設計使訊號與電源路徑分離,提升佈線效率並減少雜訊干擾,是台積電 A16 所採用之 Super Power Rail(SPR)架構的核心特色之一。

背面供電架構剖面圖示意(Backside Power Delivery Cross-Section)
背面供電架構剖面圖示意(Backside Power Delivery Cross-Section)


這三大技術構成了一個完整的封裝生態系統,各自扮演不同角色——


CoWoS 提供高頻寬資料互連的強大通道
InFO 擁有極致輕薄與高密度接腳擴展能力
而 BSP 則重塑電源設計的流向

從晶片背面提供更穩定的電壓與更佳的散熱路徑。這種整合方式不僅為晶片設計提供空間與熱的最佳解法,也讓設計師得以在同一封裝中自由選配不同功能、製程與架構的晶片模組,打造高度客製化、模組化的異質整合晶片(Heterogeneous Integration),成為 AI 與 HPC 高階應用中不可或缺的技術核心。



從橫向到垂直,晶片為什麼要「疊」?


橫向延伸的極限:摩爾定律快沒電了?


從 1970 年代開始,摩爾定律(Moore's Law)就像是一張「性能保證書」,預言每 18 至 24 個月,電晶體數量將翻倍,性能也隨之提升,這讓半導體產業得以不斷追求更小體積與更高效能的晶片。但隨著技術逐漸逼近矽的物理極限,例如量子穿隧效應、漏電流與發熱問題,傳統的縮製程(scaling)策略在進入 5 奈米以下時變得益發艱難且成本飆升。


再加上生成式 AI 與 5G、AR/VR、自駕車等新應用對運算密度與資料吞吐量提出極高要求,單純靠「更小、更密集」已無法滿足需求。因此,業界開始轉向立體堆疊的 3D IC(Three-Dimensional Integrated Circuit)架構,將不同功能的晶片(如邏輯處理單元與記憶體)垂直堆疊在一起,透過 TSV(Through-Silicon Via,矽穿孔)或中介層技術進行高速互聯,大幅縮短資料通道距離並提升封裝密度,這不僅延續了摩爾定律的精神,也開創了新的摩爾維度(More than Moore)發展方向。



垂直堆疊的優勢:


  • 縮短訊號傳輸距離 減少延遲與功耗:在傳統 2D 晶片中,訊號從 CPU 到記憶體可能需要穿越整個晶片或多層封裝結構,導致速度慢與功率耗損;而 3D 封裝透過上下堆疊,晶片之間的互聯距離可降至微米等級,實現類似本地暫存的即時傳輸,讓處理器更快取得所需資料,進而降低功率消耗,提升運算效率。


  • 垂直整合 HBM(高頻寬記憶體) 讓 AI 模型可即時處理大量資料:HBM(High Bandwidth Memory)是一種垂直堆疊的記憶體架構,透過 TSV(Through-Silicon Via,矽穿孔)實現多層 DRAM 晶粒之間的高速資料傳輸。與傳統 GDDR 或 DDR 記憶體相比,HBM 擁有更高的頻寬與更低的功耗。透過 CoWoS 等封裝技術,HBM 可直接堆疊在運算邏輯晶片旁邊或上方,縮短通訊距離並提升吞吐效率,這對於像 GPT 類神經網路、視覺模型或資料中心運算等需要處理龐大資料集的 AI 應用來說,尤其關鍵。


  • 分層供電與散熱設計 提升功率管理與溫度控制彈性:在 3D IC 結構中,隨著晶片層數增加,熱源密度也大幅上升,若無適當的散熱設計,容易形成所謂的「熱點」(hotspot),導致性能下降甚至損壞。為了因應這挑戰,先進封裝技術導入了分層散熱模組(如熱擴散層、金屬微通道、microfluidic 冷卻)與局部熱感測控制,提升整體熱效應管理能力。


同時,晶背供電(Backside Power Delivery)也與分層電源架構相輔相成:


傳統供電架構中,電源與訊號共用前段金屬層的佈線資源,容易造成訊號干擾與壓降問題;而 BSP 讓電源由晶片背面導入,大幅減少前段層的壅塞情況,提升功率密度與穩定性,讓複雜晶片更容易維持高速與低功耗運作。這種上下分工的供電與散熱策略,正是邁向 2 奈米與更小製程的關鍵支柱。


說白話一點,3D 封裝就像把原本擁擠的平面高速公路升級成立體交流道,不只拓寬了流量,更解放了空間與方向彈性。每一層晶片像是一層高架橋,各自承載不同的資料流與功能模組,彼此間透過高速垂直通道(如 TSV)進行即時通訊,讓資料不必再繞道而行。


這樣的架構不僅大幅縮短晶片內部的傳輸路徑,也能靈活配置電源與散熱系統,是目前面對 AI 訓練、雲端伺服器、HPC 等高頻寬、高效能、低功耗應用的最佳解法之一。根據 TSMC 與業界報告,採用 3DFabric 的 AI 晶片在系統級吞吐量與能效比(performance per watt)表現上已遠優於傳統封裝方案,證明這場封裝革命確實改變了遊戲規則。



技術總整理:CoWoS、InFO 與晶背供電的應用場景


以下表格為您整理 TSMC 3DFabric 中三大技術的比較與應用情境:

技術名稱

全名

技術特色

適用情境

使用代表

CoWoS

Chip-on-Wafer-on-Substrate

大面積中介層整合多顆晶片、支援 HBM、高頻寬低延遲

AI 晶片、HPC、GPU

NVIDIA、Broadcom

InFO

Integrated Fan-Out

去基板封裝、節省空間、成本優化、高密度 I/O

行動裝置、智慧手機

Apple、MediaTek

BSP

Backside Power Delivery

從晶片背面供電、降低功耗、改善訊號完整性

3D IC、先進製程邏輯晶片

TSMC 2nm、Intel 20A


這些技術如同不同路線的工具箱,設計師可依照晶片功能、封裝體積、頻寬需求與功耗目標,進行靈活搭配組合。例如,當設計一款高效能 AI 加速器時,可採用 CoWoS 搭配 HBM 提升記憶體頻寬;若目標是輕薄的行動裝置,可選擇 InFO 實現低剖面與高密度 I/O;而面對 2 奈米以下先進製程的高功率挑戰時,BSP 則能提供更穩定的電源供應路徑。透過這些可模組化組合的封裝策略,TSMC 3DFabric 協助客戶實現從資料中心到邊緣裝置的多元晶片應用布局。


為什麼產業巨頭都選擇 TSMC 3DFabric?


隨著 AI 模型越來越龐大,從 ChatGPT、Llama 到 Midjourney,每秒鐘都在消耗數百 TB 的運算資料。這些資料若要以高效能運算處理,就需要足夠的頻寬與低延遲支援。這正是 TSMC 3DFabric 發揮關鍵價值的地方。


幾大核心優勢:


  • 支援高頻寬記憶體(HBM) 透過 CoWoS 封裝平台,TSMC 能夠實現 CPU 或 GPU 與 HBM 記憶體的緊密整合,讓記憶體模組直接堆疊或緊鄰邏輯晶片,減少資料通訊延遲。此種封裝方式支援多層 HBM DRAM 串接至中介層(Interposer),每層可提供超過 1TB/s 的總資料頻寬。根據 TSMC 官方文件與 NVIDIA H100 架構公開資料,透過 CoWoS 封裝的 AI 晶片,其記憶體頻寬達 3TB/s,是傳統記憶體架構的 5 至 10 倍,為大型語言模型、圖形運算與高效能模擬提供強大支撐。


  • 支援異質整合 InFO 與 CoWoS 可整合不同製程節點(例如先進邏輯製程搭配成熟類比晶片)、不同功能模組(如邏輯處理、記憶體、影像感測等)的裸晶,實現高彈性的異質整合(Heterogeneous Integration)。這種設計方式能提升晶片間的資料傳輸效率,降低系統延遲與功耗,同時加快產品上市時程。舉例來說,Apple 的 A 系列處理器就是透過 InFO 技術將 SoC 核心與周邊模組整合於單一封裝中;而 NVIDIA 的 H100 AI 晶片則採用 CoWoS,將高效能邏輯晶片與多顆 HBM 記憶體協同封裝,展現了異質整合的高度靈活與強大效能。


  • 電源設計革新 透過晶背供電(BSP),大幅減少功耗與壓降,提升晶片穩定度與壽命。BSP 的核心在於將供電網路(Power Delivery Network, PDN)移至晶片背面,與前段的訊號佈線分離,使原本用於電源的金屬層得以釋放給高速訊號使用,提升晶片內部佈線效率與訊號完整性。此設計也能降低電阻與壓降(IR drop),改善瞬間電流供應能力,讓晶片在高速運算情境下更加穩定。此外,晶背供電亦有助於簡化熱設計與功率分層管理,成為 2 奈米以下製程節點的重要推進力量。根據 TSMC 與業界技術簡報指出,BSP 為支撐 chiplet 架構、AI 晶片與高效能運算平台不可或缺的技術支柱,未來將成為主流封裝架構的標準元件之一。


此外,TSMC 已積極於南科與竹科擴建 CoWoS 封裝產線,以因應日益成長的 AI 與高效能運算(HPC)晶片需求,並同步導入先進的 InFO-L 技術(Integrated Fan-Out on Substrate),此技術結合 InFO 的高密度再分佈層(RDL)與傳統基板的機械穩定性,提升封裝良率與電氣性能。根據 TSMC 官網發布的資料顯示,InFO-L 具備更大尺寸與更高 I/O 數的設計彈性,特別適合應對大型 SoC、網通與伺服器晶片需求,並已獲得多家國際一線客戶驗證與採用,成為下一代高效封裝平台的關鍵佈局。



持續創新下的隱憂與挑戰


當然,每個技術突破背後,總伴隨不小的挑戰。3DFabric 要能大規模量產並達到成本效益,還得跨過幾座關卡:


  • 熱管理挑戰:3D 結構封裝下熱源集中,需新型材料與冷卻方案(如 microfluidics)

  • 測試與驗證難度高:封裝階段整合多晶片後,傳統測試技術需更新以捕捉封裝瑕疵

  • 良率與成本壓力:異質整合失敗風險高,一旦其中一顆裸晶有缺陷,整顆封裝報廢


TSMC 與合作夥伴正積極發展先進測試技術與供應鏈韌性,以應對這些挑戰。EDA 工具商(如 Synopsys、Cadence)也已與 TSMC 展開深度協作,優化封裝設計流程。


從封裝看見未來晶片之路


封裝技術早已不是「後段加工」,而是主導晶片效能的新核心。從橫向拓展到垂直堆疊,從單一晶片到異質整合,TSMC 的 3DFabric 不只是製程的延續,更是邁向超級計算時代的門票。

對設計師而言,這是一座創意的積木工廠;對產業而言,這是性能與成本的最佳平衡;而對未來來說,這是 AI、量子運算、元宇宙等願景得以落地的技術橋梁。


想像一下,你手上的智慧手機、你用的 AI 工具,其實正悄悄承載著這場「封裝革命」的力量。

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